【MiniLab】series フレキシブル薄膜実験装置

MiniLab-026, -060, -080, -090, -125

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能。様々な研究用途に対応可能な小型薄膜実験装置。

テルモセラ・ジャパン株式会社

MiniLab R&D用実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて都度最適なコンポーネント(成膜源、ステージなど)、制御モジュールを組み込むことにより、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で搭載することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロセス実験への応用が可能になります。
MiniLabシリーズは、研究開発から小規模生産用途まで幅広く対応するハイコストパフォーマンスシステムです。
【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置 構成モジュール】
◉ 製作範囲
抵抗加熱蒸着(TE)、有機膜蒸着(LTE)、電子ビーム蒸着(EB)、RF/DCスパッタリング(SP)、T-CVD、PE-CVD、ドライエッチング、超高温カーボン炉(*MiniLab-CF/MF, WCF/WMF参照)
◉ チャンバー
・026(26Litter)-LTE/*Globe Box option:MaxΦ4inch, 110mm
・060(60Litter)-LTE/EB/SP/RF Etch/CVD:MaxΦ4inch, 125mm
・080(80Litter)-LTE/EB/SP/RF Etch/CVD:MaxΦ6inch, 200mm
・090(80Litter)*Globe Box option -LTE/EB:MaxΦ6inch, 200mm
・125(125Litter)-LTE/EB/SP/RF Etch/CVD:MaxΦ8inch, 200mm

※ その他仕様は当社ホームページ参照下さい。

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主な用途 ・半導体電子デバイス等の真空薄膜開発
・新素材/新材料の開発
・先端技術開発
・小規模試作生産
など
URL http://www.thermocera.com/products/minilabflexible.html

テルモセラ・ジャパン株式会社

半導体・電子部品などの研究・開発・製造プロセスに必要な要素である「熱」応用製品の販売を基盤とし、 「基板加熱ヒーター」「温度計測機器」「実験炉」「薄膜実験装置」他企画開発商品の販売を行うことにより ...

〒 103-0027
東京都中央区日本橋 新槇町ビル別館第一 2階

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