【Nanofurnace】BWS-NANO 卓上型熱CVD装置

BWS-NANO

多目的に使える、高精度プロセスコントロール【ホットウオール式熱CVD装置】

テルモセラ・ジャパン株式会社

◉ グラフェン, カーボンナノチューブ
◉ ZnOナノワイヤ
◉ SiO2等の絶縁膜など
その他, ホットウオール式熱CVD装置として幅広いアプリケーションに対応
【特徴】
◉ コンパクトなシステムでハイクオリティな成膜実験が可能
◉ ホットウオール式 反応管内を均一に加熱
◉ MFC高精度流量制御:精度±1% F.S.
◉ バラトロンゲージ(オプション)による高精度APC圧力制御
◉ Lab Viewソフトウエア(オプション)によるリモート制御, パラメータ設定
【主仕様】
◉ Φ2.5inch(標準)Φ4inch x12inch石英反応管内
◉ 最高使用温度1100℃
◉ 試料サイズ:10x10mm, (Φ2.5inch)100 x 100mm(Φ4inch)
◉ PID温度コントロール:Eurotherm 2416プログラム温度調節計
◉ 流量制御:±1%F.S. 0sccm 〜 100, or 1000sccm(ガス種による)
◉ ロータリーポンプ付属

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主な用途 グラフェン, カーボンナノチューブ
ZnOナノワイヤ
ナノダイヤモンド
絶縁膜、保護膜(SiC, TiN etc.)
その他, 熱CVD装置用途全般
URL http://www.thermocera.com/products/nanofurnace.html

テルモセラ・ジャパン株式会社

半導体・電子部品などの研究・開発・製造プロセスに必要な要素である「熱」応用製品の販売を基盤とし、 「基板加熱ヒーター」「温度計測機器」「実験炉」「薄膜実験装置」他企画開発商品の販売を行うことにより ...

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