【MiniLab-WCF/WMF】超高温ウエハーアニール炉 Max2200℃
MiniLab-WCF, -WMF
φ2〜8inchウエハー高温焼成専用機 コンパクト・簡単操作 2200℃まで均一なアニール処理実験が可能
安全性・操作性を重視した、『ウエハー焼成』専用R&D用超高温実験炉。
◆主な特徴◆
・習熟度を問わずどなたでも簡単に操作できます。
・自動シーケンス操作：試料設置後、煩雑な操作が必要無く、ボタン操作のみで真空引〜ベント〜ガス導入を実行
・上部扉より内部試料室にアクセス
・有効加熱範囲：φ2-φ8inch（その他サイズ可能）
・高真空雰囲気対応（ターボ追加：1x10-5Torr）
・インターロック8系統の状態が前面LEDランプで確認
◆基本仕様◆
・発熱体：CCコンポジット（WCF）, タングステン（WMF）
・断熱材：グラファイト（WCF）, タングステン/モリブデン（WMF）
・電源仕様：AC200V 70A 14KW（*8inch 2ゾーンの場合）
・Max2200℃
・使用雰囲気：真空・不活性ガス（WCF）, 真空・不活性ガス・還元雰囲気（WMF）
・プログラム温調計、C熱電対
◆オプション◆
・2ゾーン制御（*6, 8inch）
・記録計
・ターボ分子ポンプ
・ウエハホルダー
◆主な用途◆
・SiC, GaN等電子デバイス
・他先端材料開発に応用
| 主な用途 | ・SiC GaNデバイス基礎研究 ・新素材開発 ・その他各種先端材料開発に応用 |
|---|---|
| URL | http://www.thermocera.com/products/waferfurnace.html |
テルモセラ・ジャパン株式会社
半導体・電子部品などの研究・開発・製造プロセスに必要な要素である「熱」応用製品の販売を基盤とし、 「基板加熱ヒーター」「温度計測機器」「実験炉」「薄膜実験装置」他企画開発商品の販売を行うことにより ...
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