BPS-2000 ポンプ (半導体・マイクロエレクトロニクス用)

最大 0.69 MPa 又は 140 l/minのポンプシステム

ベアリングレス・シールレス・パルスレス・ノンパーティクル・コンタミフリー

Levitronix Japan株式会社

BPS-2000 ポンプシステムは摩耗する恐れのある軸受がなく、液漏れの恐れのある軸封も使用しない、画期的な遠心ポンプです。磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。

インペラとケーシングは、共に耐薬液性の高い高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石と共にポンプヘッドを構成しています。

流量と吐出圧は、インペラの回転数を電子回路によりコントロールすることにより、正確に制御されますので脈動がありません。クローズドループの流量或は圧力制御システムは、流量或は圧力センサを追加使用することにより簡単に構築可能です。

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主な用途 半導体ウェットプロセス (洗浄、CMP 等)
PCB、電子部品メッキ
太陽電池製造
FPD 製造
ハードディスク基板製造
印刷用インク、研磨液
化学薬品製造、製薬・医薬製造
EL 薬品/ファインケミカル製造
超純水の昇圧ブースター
URL http://www.levitronix.com/ja/bps-2000-high-pressure.html

Levitronix Japan株式会社

レビトロニクスは、世界的に磁気浮上ベアリングレスモーター技術分野のリーダーで、医療の分野に血液ポンプならびにマイクロエレクトロニクス、ライフサイエンスおよび産業界の用途に超清浄流体処理装置を提供してい...

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