BPS-4H (高温) ポンプ (半導体・マイクロエレクトロニクス用)

最大 180℃流体、0.32 MPa 又は 50 l/minのポンプシステム

ベアリングレス・シールレス・パルスレス・ノンパーティクル・コンタミフリー

Levitronix Japan株式会社

BPS-4H ポンプシステムは摩耗する恐れのある軸受がなく、液漏れの恐れのある軸封も使用しない、画期的な遠心ポンプです。磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。

インペラとケーシングは、共に耐薬液性の高い高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石と共にポンプヘッドを構成しています。寿命と性能テストは、高温の硫酸・リン酸とオゾン硫酸及び硫酸過水の混合液で行
いました。

高温の液体によりモータ内の電子部品が過熱しないようにモータには水冷用の冷却ループが付属されています。

流量と吐出圧は、インペラの回転数を電子回路によりコントロールすることにより、正確に制御されますので脈動がありません。クローズドループの流量或は圧力制御システムは、流量或は圧力計を追加使用することにより簡
単に構築可能です。その他、以下の節で説明があるように様々なシステムの構成が可能です。

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主な用途 ・半導体ウエハ処理プロセス向け高温ウェットプロセス
・最大 180°C までの硫酸とリン酸の圧送が可能
・最大 150°C までのオゾン硫酸 (SOM) 又は硫酸過水 (SPM) の圧送が可能

Levitronix Japan株式会社

レビトロニクスは、世界的に磁気浮上ベアリングレスモーター技術分野のリーダーで、医療の分野に血液ポンプならびにマイクロエレクトロニクス、ライフサイエンスおよび産業界の用途に超清浄流体処理装置を提供してい...

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