高温用マスフローコントローラ

MC-3000L-TCシリーズ

Max120℃耐熱のマスフローコントローラ

株式会社リンテック

液体や固体を加熱し、ガス化した後に制御することが可能な、マスフローコントローラです。
耐熱はMax120℃であることから、低蒸気圧の液体や固体でも使用可能です。
流量精度は±1%F.S.、応答速度は1秒を実現しています。

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主な用途 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカー、各種分析装置などに幅広く納入されています。
URL http://lintec-mfc.co.jp/%e8%a3%bd%e5%93%81%e6%83%85%e5%a0%b1/%e6%b0%97%e4%bd%93%e7%94%a8%e8%a3%bd%e5%93%81/mc-3000l-tc-series-2/

株式会社リンテック

リンテックは、気体ならびに液体の供給システムのパイオニアとして、マスフローコントローラ(MFC)のみならず、様々な製品を生み出してきました。 これらユニークな製品により、今まで不可能だったものを可能...

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