DeviceNetマスフローコントローラ

MC-5000Lシリーズ

DeviceNetに対応したマスフローコントローラ

株式会社リンテック

半導体製造に欠かせないDeviceNetに対応したマスフローコントローラです。
ODVA SEMI SIG MFC Profileを採用しています。
ピエゾアクチュエータやメタルーシールを採用することで、各種ガスや使用条件に対応しています。
流量精度は±1%S.P.、応答速度は1秒を実現しています。

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主な用途 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカー、各種分析装置などに幅広く納入されています。
URL http://lintec-mfc.co.jp/%e8%a3%bd%e5%93%81%e6%83%85%e5%a0%b1/%e6%b0%97%e4%bd%93%e7%94%a8%e8%a3%bd%e5%93%81/mc-5000l-series/

株式会社リンテック

リンテックは、気体ならびに液体の供給システムのパイオニアとして、マスフローコントローラ(MFC)のみならず、様々な製品を生み出してきました。 これらユニークな製品により、今まで不可能だったものを可能...

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