超高真空窓・極高真空窓
熱歪みのない窓。高精度計測・レーザー導入用
＜超高真空窓 TF型＞
日本、アメリカ、EU、ロシア、中国、韓国の6極で推進中の国際熱核融合実験炉(ITER)の計測用超高真空窓としての過酷採用基準を世界唯一クリア。超高真空窓は真空容器内を観察(計測)するための窓で、各種の結晶窓材および石英窓材等を弾性構造の金属に圧着してマウントする特殊シール技術により、超高真空領域までの使用が可能です。
※(独)日本原子力研究開発機構と共同開発 PAT・P
＜極高真空窓 VX型＞
「日本原子力研究開発機構」と共同開発した世界で唯一無二の最大径超高真空窓(メタルシール)です。大出力・大口径・照射むらなしのキセノンランプ(172nm)光源用の窓として最適です。
光洗浄でなくてはならないキセノン光源は、瞬時にシリコンウエハーの洗浄・改質は勿論、FPD及び太陽電池等の洗浄・改質等もできます。生産性の大幅な向上は勿論、品質をより高めて、歩留まりの顕著な改善にも役立つものと確信しております。
| 主な用途 | ●半導体製造装置のウエハー洗浄及び表面改質用大出力キセノンランプ用 ●太陽電池製造装置の洗浄及び表面改質用大出力キセノンランプ用 ●FPD製造装置の洗浄及び表面改質用大出力キセノンランプ用 ●有機EL製造装置の洗浄及び表面改質用大出力キセノンランプ用 ●大型放射光施設・大強度加速器施設・スイス(セルン)大型加速器施設等の加速器関連核融合施設・フランス国ITER機構、などの計測と観測用真空窓 |
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| URL | http://shibuya-opt.co.jp/uhv_window.html |
企業情報
株式会社渋谷光学
渋谷光学は埼玉県和光市にある光学部品等の販売会社です。 50年の歴史で培った設計と加工ノウハウに基いて信頼できる品質、リーズナブルな価格、そして迅速な納期でご提供します。 光学部品は研究開発用の試...
〒 351-0111
埼玉県和光市下新倉3-22-2