ＸＹθアライメントステージ NAF3Cシリーズ
NAF3C
電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ＸＹθステージ
NAF3シリーズは、UVWの3軸アクチュエータと予圧型ダブルスライド・ユニットにて構成。薄型コンパクト・高剛性・高精度な位置決めが行えます。電動アクチュエータを同一平面上に配置することで装置全体の低重心が実現可能です。スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用することで、スラスト（垂直方向荷重）剛性・モーメント荷重に強く、偏荷重によるテーブルのたわみや浮き上がりを防止、且つスムーズな平面転がり運動を可能にしています。
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超薄型シンプル構造と高剛性の両立
3つのアクチュエータを同一平面上に配置することにより超薄型シンプル構造を実現。
また「予圧型ダブルスライド構造（特許取得済み）」はスラスト（垂直方向荷重）剛性・モーメント荷重に強く、偏荷重によるテーブルのたわみや浮き上がりを防止します
高精度な位置決め精度
積重ね構造では無く、一平面上に3軸のアクチュエータを配置することでコンパクトで低重心、安定性を実現。高さを抑えたことと、予圧型ダブルスライド」が荷重を受け、アクチュエータは直接荷重を受けないことにより荷重変化に影響されない安定した精度が得られます。
| 主な用途 | ・印刷機 ・ﾊﾟﾈﾙ貼り合せ、実装装置 ・露光機 ・検査装置等 |
|---|---|
| URL | http://www.hephaist.co.jp/products/system_ali.html#1 |
関連カタログ
ＸＹθアライメントステージ NAF3Cシリーズの関連カタログ
企業情報
ヒーハイスト株式会社
戦後、日本が世界で生きていくためにはものを作って輸出していくしかない。そう思った創業者は、1961年、最新鋭の工作機械を購入し、受託加工を開始。1962年、受注が増加したことにより株式会社化。そして1...
〒 350-1151
埼玉県川越市今福580-1