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真空装置

真空装置(しんくうそうち)は、真空状態の持つ特性を利用した装置、機器である。真空装置真空装置はその目的を踏まえて基本仕様である真空システムを設計しなければならない。真空システムとは以下の構成要素に成り立っている。到達圧力真空の質ガス放出真空チャンバーの体積真空ポンプの排気速度真空システムとして以上の5つが決まればそれに沿って真空装置を設計する。真空装置は大まかに言うと以下2つの要素を持つ。

真空チャンバー
真空にする空間である。真空装置はこの内部で真空になることによる様々な現象を利用し処理を行う装置である。処理により構成材料や形状、内部の構造などを決めていく。
排気系
真空ポンプである。真空容器、ガス放出、真空の質などから適切な真空ポンプを選択する必要がある。

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真空装置http://ja.wikipedia.org/)より引用

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