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半導体製造装置

コータ/デベロッパ - 半導体を製造する際に、フォトリソグラフィープロセスにおいて感光剤の塗布と現像を行う装置。エッチング装置プラズマエッチング装置ガスケミカルエッチング装置成膜装置熱処理成膜装置 - トランジスタの絶縁膜をつくるための製造装置。半導体製造において、トランジスタの性能向上を図るために、短時間で高温での熱処理が必要とされている。ALD装置CVD装置PVD装置枚葉成膜装置縦型拡散/LP-CVD/ALD装置SiCエピタキシャル成膜装置洗浄装置 - 半導体製造過程において、チリ、ほこりなどの不純物を洗浄するための装置。枚葉洗浄装置オートウェットステーションバッチスプレー式洗浄装置極低温エアロゾル枚葉洗浄装置スクラバー洗浄装置テスト装置ウェーハプローバマルチセルテストシステムウェーハボンディング/デボンディング装置ウェーハエッジトリミング装置ガスクラスターイオンビーム装置

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東京エレクトロンhttp://ja.wikipedia.org/)より引用

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