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半導体製造装置

コータ/デベロッパー半導体を製造する際に、フォトリソグラフィープロセスにおいて感光剤の塗布と現像を行う装置。サーマルプロセスシステム(熱処理成膜装置)-トランジスタの絶縁膜をつくるための製造装置。半導体製造において、トランジスタの性能向上を図るために、短時間で高温での熱処理が必要とされている。エッチング装置サーフェス プレパレーション装置-半導体製造過程において、チリ、ほこり等の不純物を洗浄するための装置。ガスボックス、ガスパネル(半導体製造装置用)

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東京エレクトロンhttp://ja.wikipedia.org/)より引用

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