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マスフローコントローラ

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マスフローコントローラ(英: mass flow controller, MFC)とは、質量流量計(質量流量を測る流量計)に流量制御の機能を持たせたもののことである。単に流量のセンシングだけを行って、制御を行わない場合は、マスフローメータ(mass flow meter)といい、区別することがある。体積流量計では、ボイル=シャルルの法則(気体の場合)や化学変化などのために、温度や気圧によって体積流量が変化してしまうことがあるが、その際でも質量は変化しないことから、質量流量計のほうが好まれることがある。体積流量計や差圧流量計など質量流量計以外の原理の流量計に、流量調整機能を付けて、体積流量換算などによって質量流量計として用いた場合は、マスフローコントローラとは呼ばないのが一般である。

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マスフローコントローラhttp://ja.wikipedia.org/)より引用

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