グリス付着部の露出や不規則な動きをなくしてパーティクル低減 VATの真空バルブをSEMICONで体験！来場予約受付中

真空バルブのリーディングカンパニー VAT 最先端コントロールアングルバルブとマルチバルブモジュールを体験
海外大手半導体メーカーの多数の導入実績を誇るVAT社が12月13日-15日に開催されるセミコンジャパンに出展します。 会場では、コントロールアングルバルブの新製品とマルチバルブモジュールを展示。各バルブの性能をご確認いただきながら半導体製造の課題解決に向けたご相談ブースをご用意。みなさまのご来場、お待ちしております。
展示会場では、実機の展示、デモンストレーションを実施予定！ ATM Door シリーズ070 ゼロパーティクルを追求した半導体製造装置用ドアー
グリス（潤滑剤）の露出をなくす アクチュエーターを内部に設置しているので、グリス付着部が露出しません。
不規則な動きを減らす 機構を一体化したことで各パーツの動きのバラつきがなくなりました。
シール面を均等に押し付ける 背面から均等に強い力で押すためのねじり棒をつけたことで、力の偏りがなくなりました。
来場予約、受付中！SEMICON Japan VATブースにて ATM Doorシリーズ070が搭載されているマルチ・バルブ・モジュールの実演デモを実施！
展示会場では、製品のデータを公開！コントロールアングルバルブ シリーズ62 SEMI、MOCVD等の高温、高圧での圧力制御および真空封止用
デポ物の付着を低減！バルブ内部の温度を均一にすることでデポ物の付着を極限まで低減しました。
メンテナンス効率を大幅に向上！ネジ4本の簡単組立と40％(当社比)の軽量化を実現しました。
稼働率をアップ！簡単なパラメーター設定により、複数台の導入も効率的に行えます。
この製品を展示会でチェック
セミコンジャパンでは、ぜひVATブースにお越しください！１4日16時からハッピーアワーを開催！欧州ワインやドイツビール、軽食が楽しめるハッピーアワーを開催！当日会場にお越しのお客様はぜひお立ち寄りください！12月1４日16時-17時、VATブースにて開催
創業50年、真空バルブのリーディングカンパニーです。国内41％のシェアを誇り、大手半導体メーカーから選ばれ続けています。 商号：VAT株式会社 (VAT Co., Ltd) 設立：1985年2月27日 本社所在地：〒221-0056 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7階 TEL：045-440-0340 代表取締役社長：呉 健治 資本金：9,647万円(2015年4月現在) 主な事業：スイスVAT社 高真空バルブの輸入販売

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VAT株式会社

VAT 株式会社は1985年、スイス国VAT Vakuumventile A.G. の日本及び極東地域の販売会社VATSKKとして設立されました。 真空バルブ技術で世界をリードするVAT社は、196...

〒 144-0042
東京都大田区羽田旭町10番11号 MFIP羽田1階

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